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涂胶显影机的加热装置

　　涂胶显影机加热位置都是贴在热板上，透过热传导的方法对晶圆举行加热，每个热板同时只有一个加热温度。若遇到温度改变也即晶圆需要经由差别的工艺温度的处置惩罚时，就会需要时间来做温度的切换，若是遇到温度落差较量大的时间，升降温的历程中晶圆将会阻止传送，这会严重的影响到生产速率。
　　晶圆在加热时安排在所述顶针的顶部，所述热板提供加热源，从所述热板的外貌往上的空间规模内在抽气气流的作用下温度逐渐降低，通过所述步进马达控制所述顶针顶部的位置来设定所述晶圆所处的空间位置并进而设置所述晶圆的工艺温度。